攻关小组在第三个月撞上了南墙。
何雨柱站在无尘车间外面，隔著玻璃往里看。那台银白色的机器外壳上贴著“45nm实验样机”的標籤，红字蹭掉了一个角。他没进去，就站在那儿，能感觉到里头的气压很低。几个技术员蹲在机器前头，没人说话，只有机器散热风扇嗡嗡转。
周厂长攥著测试报告出来，报告纸被他手心的汗洇湿了一角。他没递过来，先嘆了口气，声音压在嗓子眼里。
“何处长，前六次都废了。”
何雨柱接过报告，翻到第六次测试那一页。曝光均匀性，偏差百分之十五。线宽，四十五纳米正负五纳米。合格率，不到百分之三十。他把报告合上，没说话。
“镜头热变形，曝光精度不够。线宽控制不住，有的宽，有的窄，短路、断路，一大堆毛病。”周厂长说著，用手比划了一下，“跑起来就热，一热就歪。”
何雨柱把报告还给他。“钱所长的材料呢？”
周厂长翻到另一页，手指点了点上面的数据，嘴唇动了动，没立刻接话。“新材料透光率好了两成，可它……”他停顿了一下，像是在斟酌词句，“一开大功率就膨胀。功率小了，曝光时间又太长，一片硅片得晒半天，效率还不如老机器。”
何雨柱没接话。他推开车间门，走进去。机器还在嗡嗡响，指示灯一闪一闪的。他蹲下来，伸手摸了摸镜头座旁边的外壳，烫的，手心贴上去能感觉到热量往外渗。
中科院微电子所的王研究员蹲在操作台前头，手里拿著个本子，一边看一边记。他看见何雨柱，站起来，摘下老花镜。
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“何处长，问题不在材料。镜头热变形是结构的事。散热不均匀，一边热一边凉，镜头就歪了。”
何雨柱站起来。“能改吗？”
王研究员没直接回答。他把老花镜戴上，又摘下，用衣角擦了擦镜片。“改散热结构，加冷却水道，让冷却液均匀流过镜头四周。温度稳了，变形就小了。”
何雨柱转过身，看著周厂长。“改。需要多久？”
周厂长想了想，又看了看王研究员。“两周。重新设计冷却水道，加工零件，安装调试。”
何雨柱点点头。“改。改完了再试。”
第七次试机安排在两周后的一个下午。
何雨柱又去了上海。车间里站满了人，上海无线电厂的技术员、中科院微电子所的研究员、钱致远材料所派来的年轻人，把无尘车间挤得满满当当。空调开得很足，但何雨柱还是觉得闷。他站在人群后头，能看见那台机器上贴著的“45nm实验样机”標籤，红字已经彻底模糊了。
周厂长站在操作台前头，手放在启动按钮上，没按。他回头看了何雨柱一眼，又转回去，盯著屏幕上那几行还在跳动的温度数据。等了十几秒，温度稳住了。
“各处温度正常，正负零点五度。”操作员报数。
周厂长深吸一口气，按下按钮。
机器启动了。光源亮起来，刺得人睁不开眼。镜头旋转，工件台移动，硅片在曝光灯下慢慢移动。车间里很安静，只有机器嗡嗡响。何雨柱盯著仪錶盘上的数字，压力、温度、真空度，都在正常范围。但他注意到周厂长的手一直没离开那个红色的紧急停止按钮，手指搁在上头，没按下去。
三十分钟。四十分钟。五十分钟。
机器停了。
技术员把硅片取出来，送到显微镜下。王研究员凑过去，看了很久，一动不动。车间里没人说话，有人咽了口唾沫，声音很响。
周厂长忍不住了。“老王？”
王研究员没回头，又看了十几秒，才直起腰。他把老花镜摘下来，没说话，先呼出一口气。
“线宽，四十五纳米，正负零点五。均匀性，偏差百分之三。”
他顿了顿，把老花镜重新戴上，又看了一眼显微镜，才补了一句。
“合格率，百分之九十五。”
车间里安静了一秒。不是那种死寂，是那种憋了很久的、不敢相信的安静。然后角落里有人笑了一声，很低，像鬆了口气。接著有人拍了一下大腿，有人蹲下去，有人把本子合上，呼出一口气。
周厂长站在操作台前头，手指还按在那个紧急停止按钮上，没鬆开，指节发白。他愣了两秒，把手收回来，在裤子上蹭了蹭手心的汗。
“成了。”他说。
声音不大，但车间里每个人都听见了。
何雨柱站在人群后头，没动。他看著那些技术员蹲在地上抱著头，看著王研究员摘下老花镜又戴上，看著周厂长站在操作台前头一动不动。他没说话，转身走出车间。
外头的天快黑了，路灯刚亮，昏黄的光照著厂区的水泥路。他站在门口，从口袋里摸出烟，点上，吸了一口。烟雾在风里散得很快。
晚上，何雨柱住在厂招待所。他坐在床上，把那份名单从系统空间里拿出来，翻到“光刻机”那一页，在“45纳米”三个字后头，他加了一行字：上海无线电厂、中科院微电子所、钱致远材料所联合攻关，第七次试机成功，线宽45纳米正负0.5纳米，合格率95%。
写完了，把名单放回去，锁好。
第二天一早，何雨柱去了钱致远的研究所。钱致远在实验室里，蹲在一台显微镜前头，看一块材料的切片。他听见门响，抬起头，摘下老花镜。
“小何，成了？”
何雨柱在他对面坐下。“成了。您的材料立功了。”
钱致远没笑。他站起来，走到柜子前头，拿出一块银白色的金属，递给何雨柱。何雨柱接过来，沉甸甸的，表面光滑，在灯光下泛著冷光。
“这是新配方。热膨胀係数比上一版还低三成，透光率提高一成。用在下一代光刻机上，能做更细的线宽。”
何雨柱掂了掂那块金属。“三十二纳米？”
钱致远点点头。“理论上是。得试验。得有人，有设备，有时间。”
何雨柱把金属还给他。“人从各所调。设备从国外买。时间，五年。五年后，我要看到三十二纳米光刻机。”
钱致远把金属放回柜子里，关上柜门。“行。我搞。”
何雨柱站起来，伸出手。钱致远握住，摇了摇。
“钱所长，您保重。”
“你也是。”
回到北京，天已经黑了。何雨柱刚进办公室，桌上的电话就响了。他接起来，那头先是一阵嘈杂——有人在喊“加压”，有人在读数据，然后林建国的声音传来，不是喊，是那种压著嗓子、带著喘的、像跑了长跑之后的声音。
“院长，晶片到了。”
何雨柱没说话。
电话那头顿了一下，传来什么东西放在桌上的声音，很轻，但很稳。
“线宽正负零点三，比设计指標还好。院长，星河六號……它能跑了。”
何雨柱握著话筒，听见那头有人哭了。